❶高均温性能，保障晶圆温度一致性；
❷精密流道，压降可控；
❸严格氦检，无泄漏风险；
❹支持非标尺寸、接口定制。
半导体晶圆工艺设备。
吕先生 13773181318
唐先生 15162611120
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晶圆散热片用于半导体设备晶圆高精度温控，对温度均匀性、洁净度、密封性提出严苛的要求。创阔晶圆散热片采用高导热基材，内置精密流道，流阻低，换热均匀，焊接工艺稳定，满足半导体行业洁净使用条件。
❶高均温性能，保障晶圆温度一致性；
❷精密流道，压降可控；
❸严格氦检，无泄漏风险；
❹支持非标尺寸、接口定制。
半导体晶圆工艺设备。
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